2020年11月16日
【環 境】昭和電工 電子材料用高純度ガス事業 中国四川省に合弁会社を設立
昭和電工は電子材料用高純度ガス事業強化のため、中国の成都科美特特種気体と合弁で「成都科美特昭和電子材料」を四川省成都市に設立した。令和３（２０２１）年１月に営業を開始する。新会社は主に半導体の製造工程で使われる高純度ＦＣ−１４（テトラフルオロメタン、以下ＣＦ４）の最終製造工程を担う。
昭和電工が提供する電子材料用ガスの主力製品の一つであるＣＦ４は、量産使用からすでに４０年以上が経過している。電子材料用ガスの中では最も基本・基礎的なエッチング用ガスで、取り扱いの容易さに加え、ますます進む微細化加工にも適しており、また半導体向けだけでなく有機ＥＬ製造工程などでの使用も拡大していることから、今後も堅調に需要が増加していくと見込まれている。
※ 製品名および会社名は、各社の商標または登録商標です
投稿者：gotsuat 09:25| 企業の取り組み【機関】
